真空電鍍時(shí)造成掉膜的因素有很多也很繁雜。解決起來(lái)很棘手，能夠考慮到從下列一些層面清除：

1.真空電鍍工件表面潔凈度

產(chǎn)品表面潔凈度等級(jí)不足，可以考慮到離子源清洗時(shí)氬氣變大、時(shí)間長(zhǎng)點(diǎn)。

2.清洗過(guò)程中的問(wèn)題

鍍前清洗不及時(shí)，或調(diào)整了清洗液。

3.工藝的問(wèn)題

工藝主要參數(shù)是不是有變化，在鍍膜時(shí)間和電流量上做適度調(diào)節(jié)。

4.濺射靶材的問(wèn)題

鈦靶是不是中毒了，定期檢查拆換。

5.真空電鍍機(jī)內(nèi)腔是不是漏汽

開(kāi)展一次檢漏。

6.產(chǎn)品表面氧化

氧化的因素許多，能夠自主分辨解決。